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§ 第一階段：預處理過濾器

       這是主要的去除階段。混合於排氣氣流中的任何VOCs霧滴，會由預處理過濾器(Pre-Filter)所捕獲,特殊的氣/水分離設計,將確保於50μm以上的液滴去除率達到99％。預處理過濾器材質,可選用不銹鋼(SUS304)或聚丙烯(Polypropylene, PP）材料組成,並可以很容易地清洗。

§ 第二階段：冷凝器

        此階段是二次攔截。在這個階段使用以循環冷卻水作為冷卻介質的盤管熱交換器將空氣溫度降低,將去光阻(Stripper),清洗(Rinse),烘乾(Dryer)製程排氣管中排氣溫度降低到溶劑(solvents)露點的溫度以下。

§ 第三階段：除霧器

         這是最後階段。任何進行氣流的VOCs液滴而沒有凝結在冷凝器部分,將是由除霧器捕獲,特殊的氣/水分離設計,將確保於10μm以上的液滴去除率達到99％。除霧器材質,可選用不銹鋼(SUS304)或聚丙烯(Polypropylene, PP）材料組成，並可以很容易地清洗。