§適用性
低溫NH3選擇性氧化觸媒處理設備(LTSCTO) ,能針對對於MOCVD中氨氣製程中高濃度污染排氣有效的處理設計。污染物中如含有氫氣(H2)本觸媒亦可同時處理,加溫至
§觸媒元素及組成
觸媒所含金屬成份為Si、Al、Ce、Cu、Ni、Zr、Ag、Pd及其氧化物,皆為無機成份;相關成份元素可參考上述各金屬氧化物之MSDS。
§觸媒與環境
人員 : 無傷害性,除非大量誤食。
環境 : 屬於非危害性固體事業廢棄物。
§觸媒回收及處理
由吉能科技回收,交由固體廢棄物處理廠商依非有害性金屬廢棄物處理。
§觸媒反映機構
利用高活性之觸媒來催化此氧化反應,降低至250
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